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2018-08-29 20:42      点击:

  SITRI 8英寸中试线成功通线

  

 

  上海微技术工业研究院(工研院)运营的8英寸“超越摩尔” 研发中试线首款传感器产品近日获得验证通过,12月1日正式宣告研发中试线通线成功。
 

  
 

  当前以智能传感终端、大数据、云计算、人工智能等为代表的信息技术正加速创新,万物互联智能化时代正在到来。其中“超越摩尔”技术以传感器为核心,结合射频、功率、微能源等技术,是未来实现万物互联的基础。作为创新型功能平台,工研院立足国内集成电路研发和产业基地上海,8英寸研发中试线落户嘉定,填补国内这一领域的空白。
 

  
 

  研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备,提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。
 

  
 

  “这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段。未来研发中试线将持续发力,在新材料、新工艺、新器件、新系统重点技术领域开展研发,进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。”上海微技术工研院总裁杨潇表示。